(베이징=신화통신) 중국이 28nm(나노미터) 반도체 공정 전 과정에 국산 이온주입기를 활용할 수 있게 된 것으로 나타났다.

이온주입기는 반도체 공정 핵심 기술이다. 28nm는 현재 칩 응용 분야에서 가장 널리 사용되는 제조 공정이다. 중국전자과학기술전자장비그룹(이하 중국전기과학장비)은 광로(光路)?제어?소프트웨어 등 주요 모듈의 핵심 기술을 잇따라 개발하는 데 성공했다. 이로써 중전류?고전류?고에너지?제3세대 반도체 등 전 계열 이온주입기 제품 구도를 형성하고 28nm 공정 전 과정을 커버해 국산 칩 생산?제조를 지원했다.

중국 최초 이온주입 설비 연구제작 및 산업화에 종사하고 있는 중국전기과학장비는 제품 설계부터 양산응용에 이르기까지 전체 연구제작 시스템을 갖추고 있다. 제품 역시 로직소자, 메모리반도체, 전력반도체, 센서 등을 아우르고 있다. 또 100대의 설비가 중국 각 대형 집적회로 선진 생산라인에 응용돼 총 2천만 개 테이프아웃(Tape-out?설계한 반도체를 공장에 전달하는 것)을 완료했다.